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納米粒度及Zeta電位儀通過激光器發射光束照射納米顆粒，顆粒的布朗運動導致散射光強度隨時間波動。檢測器（如雪崩光電二極管）采集90°散射光信號，通過自相關函數分析光強波動頻率，推導出顆粒的擴散系數，再根據斯托克斯-愛因斯坦方程計算粒徑分布。